中文名称： 蒸发
英文名称: evaporation
标准类别： 技术导则
标准名称： 薄膜陶瓷基板工厂设计标准
实施地区： 全国
是否有效： 有效
发布日期： 2024-03-12
实施日期： 2024-08-01
中文释义： 将固体材料置于高真空环境中加热，使其气化并淀积到衬底上形成薄膜的工艺。
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